Автор туралы ақпарат
Пивоваренок, С. А.
| Шығарылым | Бөлім | Атауы | Файл |
| Том 52, № 1 (2023) | DIAGNOSTICS | Controlling Silicon Etching Parameters in RF CHF3 Plasma by Optical Emission Spectroscopy | |
| Том 52, № 1 (2023) | DIAGNOSTICS | Электрофизические характеристики и эмиссионные спектры плазмы тетрафторметана |