Informaçao sobre o Autor
Chkhalo, N. I.
| Edição | Seção | Título | Arquivo |
| Volume 52, Nº 5 (2023) | ЛИТОГРАФИЯ | Protective Freely Hanging Films for Projection Lithography Installations in the Extreme UV Range | |
| Volume 53, Nº 5 (2024) | ЛИТОГРАФИЯ | New concept for the development of high-performance X-ray lithography |